特許
J-GLOBAL ID：200903057371748846
画像検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-143937
公開番号（公開出願番号）：特開平7-021372
出願日： 1993年06月15日
公開日（公表日）： 1995年01月24日
要約：
【要約】【目的】 試料上で孤立するパターンに対応するデータのみを正確に検出できる画像検出装置を提供する。【構成】 CCDセンサ2からの画像データを三値化回路5で三値化し、ウィンドウ切り出し回路6,7のメモリ上で2次元の判定画像データを作成する。第1のウィンドウ切り出し回路6では判定画像データ内のn×n画素を、第2のウィンドウ切り出し回路7では第1のウィンドウと中心が一致するm×m画素(m>n)を切り出し、これらの階調別の画素数をカウンタ回路8,9で計数する。減算回路10ではカウンタ回路9の計数値からカウンタ回路8の計数値を減算し、試料上で孤立するパターンに対応するデータが第1のウィンドウ切り出し回路6で切り出した画素内に存在するか否かを判定論理回路11により減算回路10での減算値とカウンタ回路8の計数値とに基づいて判定する。
請求項（抜粋）：
試料の所定範囲を撮像して該撮像範囲の輝度分布に対応した画像データを出力する撮像手段と、前記撮像手段から出力される画像データを所定の閾値により三値以上に多値化して2次元に画素分割可能な判定画像データを作成する判定画像データ作成手段と、作成された判定画像データ内の特定範囲の画素の階調を検出する第1の検出手段と、前記判定画像データ内にて前記第1の検出手段による階調検出範囲を取り囲む一定範囲の画素の階調を検出する第2の検出手段と、前記試料上にて孤立するパターンに対応するデータが前記第1の検出手段による階調検出範囲に存在するか否かを、前記第1の検出手段および前記第2の検出手段が検出した階調に基づいて判定する判定手段と、を備えることを特徴とする画像検出装置。
IPC (3件)：
G06T 7/00
, G01N 21/88
, H01L 21/66
