特許

J-GLOBAL ID：200903057378208685

チタン酸塩用溶解液および溶解方法

発明者： 福田 雅光 ,  桜井 宏行 ,  佐山 恭正
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 大家 邦久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-137376
公開番号（公開出願番号）：特開平8-310887
出願日： 1995年05月11日
公開日（公表日）： 1996年11月26日
要約：

【要約】【構成】 過酸化水素と塩酸または硝酸とを含有し、チタン酸塩MTiO3 (式中、Mはアルカリ土類金属)の溶解に用いる溶解液。【効果】 100°C以下の比較的温和な条件下に迅速にチタン酸塩を溶解することができ、各種のチタン酸塩試料の分析に適する。さらにシリコン基板を侵すことがないので、DRAMキャパシタ膜のエッチング処理を含め、基板上に形成したチタン酸塩膜の除去に特に適している。

請求項（抜粋）：

0.2〜30wt%の過酸化水素と0.3〜12mol/l の塩酸または0.5〜3mol/l の硝酸とを含有し、チタン酸塩MTiO3 (式中、Mはアルカリ土類金属)の溶解に用いることを特徴とする溶解液。

IPC (3件)：

C04B 41/91 ,  C01G 23/00 ,  H01L 21/308

FI (3件)：

C04B 41/91 B ,  C01G 23/00 B ,  H01L 21/308 E