特許

J-GLOBAL ID：200903057379809020

精密エッチング加工用金属材料及びその製造方法

発明者： 菅原 保孝 ,  喜多 芳久
出願人/特許権者： 日鉱金属株式会社
代理人 (1件)： 倉内 基弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-095835
公開番号（公開出願番号）：特開平8-269740
出願日： 1995年03月30日
公開日（公表日）： 1996年10月15日
要約：

【要約】【目的】 エッチファクターの高い金属材料及びそれを安定して製造する技術の開発。【構成】 入射角及び反射角共に30°の場合の表面の鏡面反射率(JIS Z8741で規定)ρv(30°)=15%以下及び/或いは表面粗さRmax(JIS B 0601で規定)=1.5μm以上の、安定した凹凸を有する表面を備えることを特徴とする、エッチファクターの高い精密エッチング加工用金属材料。レジスト密着性が向上し、サイドエッチング量が減る。リードフレーム用材料及びシャドウマスク用材料として特に有用である。エッチング加工用金属材料を塩化第2鉄水溶液で酸洗することにより製造できる。

請求項（抜粋）：

入射角及び反射角共に30°の場合の表面の鏡面反射率(JIS Z 8741で規定)ρv(30°)=15%以下及び/或いは表面粗さRmax(JIS B 0601で規定)=1.5μm以上の、安定した凹凸を有する表面を備えることを特徴とする、エッチファクターの高い精密エッチング加工用金属材料。

FI (2件)：

C23F 1/00 A ,  C23F 1/00 C