特許

J-GLOBAL ID：200903057381408059

超臨界流体洗浄装置における洗浄機構

発明者： 新井 邦夫 ,  猪股 宏 ,  スミス・リチャード・リー
出願人/特許権者： シューズリフレッシャー開発協同組合
代理人 (1件)： 渡辺 一豊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-322719
公開番号（公開出願番号）：特開平10-163152
出願日： 1996年12月03日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：

【要約】【課題】 超臨界流体洗浄装置における洗浄機構の洗浄効率の向上化を図る。【解決手段】 被洗浄物を収納する洗浄カゴ2を器内空中に支持し当該被洗浄物へ圧縮液体7を直射噴霧する複数のノズル3を備え、器底に回転翼5と器側壁に当該回転翼5に指向した音波発生装置6とからなる攪拌装置を設けた耐圧洗浄器1と、該耐圧洗浄器1よりも低い位置に設置の温度調節器9を備えると共に着脱自在に組付くドレンボンベ10を垂下設の洗浄処理後の洗浄液体7’を受け入れるための耐圧洗浄器1の分室としての耐圧回収容器8と、該耐圧洗浄器1よりも高い位置に設置の温度調節手段11を備え耐圧洗浄器1と気相間連絡すると共に耐圧洗浄器1に液相をリサイクル供給するようにした膨脹用低圧室12とから成るとして、溶媒に強力な流動を作用させ得るものにした。

請求項（抜粋）：

被洗浄物を収納する洗浄カゴを器内空中に支持し当該被洗浄物へ圧縮液体を直射噴霧する複数のノズルを備え、器底に回転翼と器側壁に当該回転翼に指向した音波発生装置とからなる攪拌装置を設けた耐圧洗浄器と、該耐圧洗浄器よりも低い位置に設置の温度調節手段を備えると共に着脱自在に組付くドレンボンベを垂下設の洗浄処理後の洗浄液体を受け入れるための耐圧洗浄器の分室としての耐圧回収容器と、該耐圧洗浄器よりも高い位置に設置の温度調節手段を備え耐圧洗浄器と気相間連絡すると共に耐圧洗浄器に液相をリサイクル供給するようにした膨脹用低圧室とから成ることを特徴とする超臨界流体洗浄装置における洗浄機構。

IPC (3件)：

H01L 21/304 341 ,  B08B 3/12 ,  B08B 11/00

FI (3件)：

H01L 21/304 341 N ,  B08B 3/12 A ,  B08B 11/00