特許

J-GLOBAL ID：200903057382095461

膜厚の検査方法

発明者： 廣瀬 修
出願人/特許権者： 住友化学工業株式会社
代理人 (3件)： 久保山 隆 ,  中山 亨 ,  榎本 雅之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-308104
公開番号（公開出願番号）：特開2004-144544
出願日： 2002年10月23日
公開日（公表日）： 2004年05月20日
要約：

【課題】形成した薄膜の膜厚の良否を、定量的かつ迅速に判定する方法を提供する。【解決手段】形成した薄膜に光を照射して得られる反射光をカラーカメラで撮影してその出力信号を色度に変換し、形成する薄膜について予め理論的に求めておいた膜厚と色度との関係から、この求めた色度に対応する膜厚を求め、検査領域全体について、この求めた膜厚と基準膜厚との差およびその度数分布を求め、この度数分布と、予め設定しておいた小さい膜厚差では度数の閾値が高く、大きい膜厚差になるに従って度数の閾値が急激に減少してゼロになる閾値曲線とを比較し、度数分布の全体が閾値曲線以下であれば、形成した薄膜の膜厚が良好であると判定し、度数分布の全体が閾値曲線内に収らない部分があれば不良と判定することを特徴とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

形成した薄膜に光を照射して得られる反射光をカラーカメラで撮影してその出力信号を色度に変換し、 形成する薄膜について予め理論的に求めておいた膜厚と色度との関係から、この求めた色度に対応する膜厚を求め、 検査領域全体について、この求めた膜厚と基準膜厚との差およびその度数分布を求め、 この度数分布と、予め設定しておいた小さい膜厚差では度数の閾値が高く、大きい膜厚差になるに従って度数の閾値が急激に減少してゼロになる閾値曲線とを比較し、 度数分布の全体が閾値曲線以下であれば、形成した薄膜の膜厚が良好であると判定し、度数分布の全体が閾値曲線内に収らない部分があれば不良と判定することを特徴とする膜厚の検査方法。

IPC (3件)：

G01B11/06 ,  G01J3/50 ,  G01N21/88

FI (3件)：

G01B11/06 H ,  G01J3/50 ,  G01N21/88 Z

Fターム (34件)：

2F065AA30 ,  2F065BB01 ,  2F065CC31 ,  2F065DD06 ,  2F065FF42 ,  2F065FF51 ,  2F065FF61 ,  2F065GG02 ,  2F065GG03 ,  2F065GG24 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ43 ,  2F065RR06 ,  2F065RR08 ,  2G020AA08 ,  2G020DA02 ,  2G020DA03 ,  2G020DA04 ,  2G020DA05 ,  2G020DA13 ,  2G020DA22 ,  2G051AA90 ,  2G051AB20 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051EA17 ,  2G051EB01 ,  2G051EC02