超音波駆動装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-297571
公開番号（公開出願番号）：特開平11-136968
出願日： 1997年10月29日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：

【要約】【課題】超音波モーター1の振動片3と移動体5の摩耗を低減し、超音波モーター1による高精度の位置決めが長期間わたって得られるようにする。【解決手段】超音波振動体2と、該超音波振動体2の振動に伴って楕円振動する振動片3を具備する超音波モーター1と、該超音波モーター1によって駆動される移動体5とを備えた超音波駆動装置において、前記超音波モーター1の振動片3及び移動体5の当接面をそれぞれ緻密質のセラミックス又はサーメットにより形成するとともに、双方の当接面のうち少なくともいずれか一方に硬質炭素からなる耐摩耗層4を設ける。

請求項（抜粋）：

超音波振動体の振動に伴って楕円振動する振動片を備えた超音波モーターと、該超音波モーターの楕円振動によって駆動される移動体とを備えた超音波駆動装置において、前記超音波モーターの振動片及び移動体の当接面をそれぞれ緻密質のセラミックス又はサーメットにより形成するとともに、双方の当接面のうち少なくともいずれか一方に硬質炭素からなる耐摩耗層を設けたことを特徴とする超音波駆動装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭60-109776
超音波モータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-220954 出願人：日本電気株式会社
特開昭60-109776

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