特許
J-GLOBAL ID:200903057402506420
新型水素検出子、その製造方法およびガスセンサ
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
柳澤 孝成
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-164902
公開番号(公開出願番号):特開平10-010048
出願日: 1996年06月25日
公開日(公表日): 1998年01月16日
要約:
【要約】【課題】都市ガスの如く水素と他の可燃性ガスが混在するガス中の水素を、該ガスの酸素含有の有無に係らず定量的に検知するために、高感度と高応答性を両立させ且つ飛躍的に長寿命化した水素検出子及びその製造方法を提供する。【解決手段】透明基板12の表面または表裏両面に蒸着法或はスパッタリング法によりPd等の触媒金属を斑点状の薄層11として被着して検出子を構成する。この薄層11を検知対象ガス8に曝しつつ光線を照射し、水素の存在による光透過光率の減少度合いを測定できるようにしてガスセンサを構成する。
請求項(抜粋):
水素を吸着し解離する触媒金属(ア)により薄層(ウ)を透明基板(イ)上に形成してなる水素検出子であって、上記薄層(ウ)は上記触媒金属(ア)が上記基板(イ)の表面に斑点状に離散して被着してなることを特徴とする光学的水素検出子。
IPC (2件):
FI (2件):
G01N 21/77 B
, G01N 31/00 C
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