特許

J-GLOBAL ID：200903057405552229

近接場光プローブおよびそれを用いた近接場光学顕微鏡および光記録/再生装置

発明者： 松本 拓也 ,  一色 史雄
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-016501
公開番号（公開出願番号）：特開2002-221478
出願日： 2001年01月25日
公開日（公表日）： 2002年08月09日
要約：

【要約】【課題】本発明は(1)凹凸のある試料表面に対しても使用可能で、(2)バックグランド光の少ない高効率なプローブを提供することを目的とする。【解決手段】三角錐や四角錐などの多角形の側面うちの1つもしくは2つの面上に近接場光を発生させるための金属膜を全面に渡り形成する。そしてさらに、全面を金属で覆った面以外の面を、先端の光波長以下の領域を除いて金属で覆う。これにより、光は先端部の金属の覆われていない部分のみを透過するので、バックグランド光の発生を抑えることが可能になる。

請求項（抜粋）：

多角錐の形状をした光透過性のある突起からなり、その側面のうちの1面が金属の膜で覆われ、かつその他の面が先端の光波長以下の領域を除いて金属膜で覆われたことを特徴とする近接場光プローブ

IPC (6件)：

G01N 13/14 ,  G01N 13/10 ,  G02B 21/00 ,  G11B 7/004 ,  G11B 7/135 ,  G12B 21/06

FI (7件)：

G01N 13/14 B ,  G01N 13/14 A ,  G01N 13/10 G ,  G02B 21/00 ,  G11B 7/004 Z ,  G11B 7/135 A ,  G12B 1/00 601 C

Fターム (16件)：

2H052AA07 ,  2H052AC04 ,  2H052AC05 ,  2H052AC15 ,  2H052AC33 ,  2H052AC34 ,  5D090AA01 ,  5D090CC16 ,  5D090FF11 ,  5D090KK16 ,  5D119AA43 ,  5D119BA01 ,  5D119FA05 ,  5D119JA34 ,  5D119JA43 ,  5D119KA02