特許
J-GLOBAL ID：200903057407850774
立体観察用走査透過電子顕微鏡及び立体画像形成システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-016676
公開番号（公開出願番号）：特開平10-214587
出願日： 1997年01月30日
公開日（公表日）： 1998年08月11日
要約：
【要約】【課題】試料傾斜を行なわずに種々の方向から試料を観察できる電子顕微鏡光学系を構成することによって、試料の立体像を高精度で、簡便にかつ短時間で観察することが可能な立体観察用走査透過電子顕微鏡装置を提供する。【解決手段】電子銃1と照射・対物レンズ2と入射電子用走査コイル3と入射電子用偏向コイル11と電子検出器から成る電子光学系を2式設置し、かつ該2式の電子光学系の光軸が試料位置で直交するように配置する。また、前記2式の電子光学系には、各々に試料10と電子検出器の間に配置された散乱電子用偏向コイル12を具備させる。【効果】立体化画像処理に必要な全ての電子顕微鏡像を、試料の傾斜,及び観察視野ずれや焦点外れの補正操作をせずに、簡便にかつ短時間で撮影、記録することが可能となる。これによって観察に要する時間を、従来技術の100分の1以下にすることができる。更に、観察方向の設定精度が従来技術より1桁以上高いため、立体像の再構成精度を10%以上改善することも可能となる。
請求項（抜粋）：
加速した電子線を収束して試料に照射するための電子銃および照射・対物レンズ、前記電子線を試料上で走査するための入射電子用走査コイル、前記電子線の試料への照射角度を変化させるための入射電子用偏向コイル、試料内で散乱した散乱電子を検出する電子検出器、検出された電子強度の画像化や画像処理を行なうための画像処理系、および電子銃、レンズ、走査・偏向コイル、試料ステージなどを制御するための制御系を備え、かつ前記電子銃および照射・対物レンズと前記入射電子用走査コイルと前記入射電子用偏向コイルと前記電子検出器から成る電子光学系は2式具備され、かつ該2式の電子光学系の光軸が試料位置で互いに直交するように配置されてなる立体観察用走査透過電子顕微鏡。
IPC (2件)：
H01J 37/28
, H01J 37/22 502
H01J 37/28 C
, H01J 37/22 502 H
