特許
J-GLOBAL ID:200903057417420395

プローブカード基板

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-175372
公開番号(公開出願番号):特開平6-021168
出願日: 1992年07月02日
公開日(公表日): 1994年01月28日
要約:
【要約】【目的】摩耗、破損等によるプローブ針の交換時に、作業工数を少なく、熟練性も不要とする、プローブカード基板を提供する。【構成】プローブカード基板4とプローブカードサブ基板5上に、プローブ針3の先端位置が、適正位置に来るように、プローブ針先端位置調整用貫通穴1とプローブ針先端位置調整用貫通穴2を設ける。 更に、曲線を持ったプローブ針3を、プローブ針先端位置調整用貫通穴1とプローブ針先端位置調整用貫通穴2を通過させ、半田付け部6をプローブカード基板4に半田付け等により接続させる。プローブ針先端位置7が摩耗したり破損した場合は、半田付け部6を取り外し上方向に引き抜くことで、プローブ針3を取り外す。更に新しいプローブ針3を、プローブ針先端位置調整用貫通穴1とプローブ針先端位置調整用貫通穴2を通過させ半田付け部6をプローブカード基板4に半田付けする。
請求項(抜粋):
電気的測定対象が微細である際に使用されるプローブカードに於て、2ケ以上のプローブ針が貫通する位置決め穴を有することを特徴とするプローブカード基板。
IPC (2件):
H01L 21/66 ,  G01R 1/073

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