縦型減圧化学気相成長装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-318759
公開番号（公開出願番号）：特開平5-211122
出願日： 1991年12月03日
公開日（公表日）： 1993年08月20日
要約：

【要約】【目的】炉芯管9内の反応ガス濃度を一様にし、ボート10に収納されるウェーハの膜質を均一にする。【構成】比重の重いガスを供給するガス供給管1と、これに対応するガス排気管2とをボート10を挾んで配置し、ガス供給口5及びガス排気口6を上側に行く程大きくしてより大きいコンダクタンスをもたせ、供給されるガスの流量を上部より多くし、ガスの降下による濃度不均一を抑えている。

請求項（抜粋）：

ウェーハを並べて収納するボートと、このボートを包む炉芯管とを有する縦型減圧化学気相成長装置において、前記ボートを挾み配置されるとともに上下に複数の大きさの異なるガス供給口及びガス排気口をそれぞれもつガス供給管及びガス排気管とを備えることを特徴とする縦型減圧化学気相成長装置。

IPC (2件)：

H01L 21/205 , H01L 21/22

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭60-200522
特開昭61-068393

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