特許
J-GLOBAL ID：200903057429937083
ワーク位置決めステージ装置のパラメータ補正方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-044517
公開番号（公開出願番号）：特開平6-236904
出願日： 1993年02月08日
公開日（公表日）： 1994年08月23日
要約：
【要約】【目的】 ワークを支持するXYθテーブル型ステージと、XYZテーブル上に装着されたCCDカメラとを備えたワーク位置決めステージ装置のパラメータ補正に関し、自動補正更新化を図る。【構成】 ワークを支持するXYθテーブル型ボンデイングステージ1のワーク受け5に基準指標10を設け、かかるボンデイングステージ1若しくはCCDカメラ6が装着されているXYZテーブル11を所定に駆動してCCDカメラ6で基準指標10の変位たる複数点をサーチすることにより得られる所定のパラメータで補正更新する。
請求項（抜粋）：
ワークを支持するXYθテーブル型ステージと、XYZテーブル上に装着されたCCDカメラとを備えたワーク位置決めステージ装置のパラメータ補正方法において、前記XYθテーブル型ステージに基準指標を設け、前記XYθテーブル型ステージ若しくは前記XYZテーブルを所定に駆動して前記CCDカメラで前記基準指標の変位をサーチすることにより得られる所定のパラメータで補正更新することを特徴とするワーク位置決めステージ装置のパラメータ補正方法。
IPC (2件)：
H01L 21/60 311
, H01L 21/52
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (8件)
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