特許

J-GLOBAL ID：200903057430822494

固体潤滑膜付き部材

発明者： 北川 直明
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-354090
公開番号（公開出願番号）：特開2000-178720
出願日： 1998年12月14日
公開日（公表日）： 2000年06月27日
要約：

【要約】【課題】 安価な固体潤滑膜を用いても固体潤滑膜と部材との密着力が低下せず、長時間にわたって低摩擦係数が得られ、しかも高い耐摩耗性が保持できる固体潤滑膜付き部材を提供する。【解決手段】 内径0.1〜3μmの微細な孔を多数有する硬質膜の第1層と、固体潤滑膜の第2層が形成された固体潤滑膜付き部材。第2層形成前の第1層の表面粗さRmaxを1μm以下とし、第2層の固体潤滑膜には、イオンプレーテイング法、スパッタリング法、または、ショットピーニング法でMoS2膜、WS2膜、NbS2膜、雲母膜、Sb2O3膜、BN膜、WSe膜、MoSe2膜、Au膜、または、Ag膜などを形成する。

請求項（抜粋）：

内径0.1〜3μmの微細な孔を多数有する硬質膜の第1層と、固体潤滑膜の第2層が形成された固体潤滑膜付き部材。

IPC (6件)：

C23C 14/32 ,  C23C 14/06 ,  F16C 33/10 ,  F16C 33/12 ,  F16C 33/14 ,  F16C 33/24

FI (9件)：

C23C 14/32 H ,  C23C 14/06 P ,  C23C 14/06 H ,  C23C 14/06 D ,  C23C 14/06 N ,  F16C 33/10 D ,  F16C 33/12 Z ,  F16C 33/14 Z ,  F16C 33/24 Z

Fターム (22件)：

3J011LA04 ,  3J011MA02 ,  3J011QA04 ,  3J011SD01 ,  3J011SE04 ,  3J011SE06 ,  3J011SE07 ,  4K029AA02 ,  4K029BA04 ,  4K029BA05 ,  4K029BA07 ,  4K029BA11 ,  4K029BA14 ,  4K029BA51 ,  4K029BA58 ,  4K029BA59 ,  4K029BB02 ,  4K029BC02 ,  4K029BD04 ,  4K029CA03 ,  4K029DC39 ,  4K029DD05