感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-302872
公開番号（公開出願番号）：特開平10-142789
出願日： 1996年11月14日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：

【要約】【課題】良好なレジスト形状と低スカムを保持しつつ、テント信頼性及び解像度が優れる感光性樹脂組成物並びに感光性エレメントを提供する。【解決手段】 (A)カルボキシル基を有するバインダーポリマ、(B)光重合性開始剤並びに(C)(c1)一般式(I)【化1】で表されるビニルウレタン化合物及び(c2)一般式(II)【化2】で表されるアクリレート化合物を含む、分子内に重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物を含有してなる感光性樹脂組成物並びにこの感光性樹脂組成物の層を、支持体上に積層してなる感光性エレメント。

請求項（抜粋）：

(A)カルボキシル基を有するバインダーポリマ、(B)光重合性開始剤並びに(C)(c1)一般式(I)【化1】(式中、2つのR1は、各々独立に、水素原子又はアルキル基を示し、2つのXは、各々独立に、【化2】を示し、Yは2価の炭化水素基を示し、k、m、p及びqは、各々独立に、1〜14の整数である)で表されるビニルウレタン化合物及び(c2)一般式(II)【化3】(式中、R1及びXは、一般式(I)におけるR1及びXと同意義であり、n及びrは、各々独立に、1〜30の整数である)で表されるアクリレート化合物を含む、分子内に重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/027 513 , G03F 7/027 502 , G03F 7/004 512 , G03F 7/028 , G03F 7/033 , H05K 3/06 , H05K 3/18

FI (7件)：

G03F 7/027 513 , G03F 7/027 502 , G03F 7/004 512 , G03F 7/028 , G03F 7/033 , H05K 3/06 H , H05K 3/18 D

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