特許

J-GLOBAL ID：200903057448449499

透明体の厚み測定方法及び装置

発明者： 桑原 義治 ,  神戸 一浩
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 伊丹 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-089134
公開番号（公開出願番号）：特開平7-280524
出願日： 1994年04月04日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：

【要約】【目的】 1台の変位検出装置を用いて簡便且つ正確に透明体からなる被測定物の厚み測定を行う方法及び装置を提供する。【構成】 合焦点型変位検出装置を用いて透明体からなる被測定物6の厚みを測定する装置であって、被測定物6と同じ屈折率を有し、厚みが予め分かっている透明体からなる基準試料についてその裏面と表面に合焦させて求められた裏面と表面の変位の差により実際の厚みを除した補正値を記憶する補正値記憶回路26を有し、被測定物6についてその裏面と表面に合焦させて裏面と表面の変位を求め、それら変位を記憶する変位記憶回路25に保持し、この記憶回路25に保持された被測定物6の裏面と表面の変位の差に補正値記憶回路26に保持された補正値をかけて厚み出力を得る補正演算回路27を有する。

請求項（抜粋）：

合焦点型変位検出装置を用いて透明体からなる被測定物の厚みを測定する方法であって、前記被測定物と同じ屈折率を有し、厚みが予め分かっている透明体からなる基準試料についてその裏面と表面に合焦させて裏面と表面の変位を求め、前記基準試料について求められた裏面と表面の変位の差によりその基準試料の厚みを除して補正値を求め、前記被測定物についてその裏面と表面に合焦させて裏面と表面の変位を求め、前記被測定物について求められた裏面と表面の変位の差に前記補正値を掛けて厚み出力を得ることを特徴とする透明体の厚み測定方法。