特許
J-GLOBAL ID：200903057450198525
SAWフィルタ及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
清水 守 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-342164
公開番号（公開出願番号）：特開平10-190389
出願日： 1996年12月20日
公開日（公表日）： 1998年07月21日
要約：
【要約】【課題】 IDTの電極間でのショートをなくし、信頼性の高いSAWフィルタ及びその製造方法を提供する。【解決手段】 LiTaO3 などの強誘電体基板11上にボンディングパッドを構成するパターンなどをフォトリソ工程を実施し、蒸着やスパッタで形成されたAu膜12をパターン化する。次に、導通を確保するためにAu膜12に少なくともボンディングパッドの一部が重なるようにフォトリソ工程を実施し、蒸着やスパッタで膜付けされたAl膜13をパターン化する。
請求項（抜粋）：
(a)強誘電体基板上に形成されるボンディングパッドと、(b)該ボンディングパッドに接続されるように形成されるIDTとを具備することを特徴とするSAWフィルタ。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H03H 3/08
, H03H 9/145 D
, H03H 9/145 C
