特許
J-GLOBAL ID：200903057452477987
洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-256996
公開番号（公開出願番号）：特開平11-097402
出願日： 1997年09月22日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：
【要約】【課題】被洗浄物の表面前面で確実にイオンを中和しつつ洗浄すること。【解決手段】ノズルの内管9Aから水図を噴射させ、外管10-1と内管の間からイオン含有ガスを吹き出させてウェーハ1の表面に当てる。ノズルとウェーハの相対位置を変化させて走査する。イオンを局所的に吹き付けるので、イオンバランスをとり易い。全面にわたって確実に、水による摩擦で発生する電荷を中和できる。
請求項（抜粋）：
2重管の内管から水を噴射し、前記2重管の外管と内管の間からイオン含有ガスを吹き出すノズルと、被洗浄物を載置する手段と、前記ノズルと被洗浄物の相対位置を変化させることにより前記被洗浄物の表面に前記ノズルから噴射される水及びイオン含有ガスを当てて走査する手段とを備えることを特徴とする洗浄装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304 341
, B08B 3/02
, B08B 3/08
H01L 21/304 341 N
, B08B 3/02 D
, B08B 3/08 Z
