特許
J-GLOBAL ID：200903057455152310
真空装置でのディスクの保持方法及び保持装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
瀧野 秀雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-086295
公開番号（公開出願番号）：特開平7-292470
出願日： 1994年04月25日
公開日（公表日）： 1995年11月07日
要約：
【要約】【目的】 ディスクの製造工程の時間を短縮させることができる真空装置でのディスクの保持方法及び保持装置の提供を目的としている。【構成】 電磁石13,14,15を備えたディスク保持部材1,6,20と、下側に鍔部10bを有し、中心部にディスクの中心穴に嵌合する嵌合部10aを備え、かつ該嵌合部10a内に上下方向に着磁された磁石12を有する駒10とを備え、前記駒10にディスクを嵌合支持させてディスクの上又は下方向からディスク保持部材1により該駒10を吸引しディスクを保持するようにした。
請求項（抜粋）：
下側に鍔部を有し、中心部にディスクの中心穴に嵌合する嵌合部を備え、かつ該嵌合部内に上下方向に着磁された磁石を有する駒を用い、該駒の嵌合部をディスクの中心穴に嵌め込でディスク支持するとともに、ディスクの上又は下方向から電磁石を備えたディスク保持部材により前記駒を吸引してディスクを保持するようにしたことを特徴とする真空装置でのディスクの保持方法。
引用特許：
前のページに戻る
