特許

J-GLOBAL ID：200903057456138630

光加工機及びそれを用いたオリフィスプレートの製造方法

発明者： 立川 仁
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-363689
公開番号（公開出願番号）：特開平11-179575
出願日： 1997年12月16日
公開日（公表日）： 1999年07月06日
要約：

【要約】【課題】 コヒーレント光を用いて被加工物にパターンを高精度に微細加工する光加工機及びそれを用いたオリフィスプレートの製造方法を得ること。【解決手段】 光源から放射された光でマスク面上に設けたパターンを照明し、該パターンを光学系によって加工物に投影し、アブレーション加工するようにした光加工機において、該加工物面上に投影される該マスクのパターン像の位置と該加工物との相対的位置を変えて該加工物上を複数の領域に分けて分割加工していること。

請求項（抜粋）：

光源から放射された光でマスク面上に設けたパターンを照明し、該パターンを光学系によって加工物に投影し、アブレーション加工するようにした光加工機において、該加工物面上に投影される該マスクのパターン像の位置と該加工物との相対的位置を変えて該加工物上を複数の領域に分けて分割加工していることを特徴とする光加工機。

IPC (4件)：

B23K 26/00 330 ,  B23K 26/00 ,  B23K 26/06 ,  B41J 2/135

FI (4件)：

B23K 26/00 330 ,  B23K 26/00 G ,  B23K 26/06 J ,  B41J 3/04 103 N