特許
J-GLOBAL ID:200903057457426655
シート剥離方法、シート剥離装置、転写装置、コート装置、ディスク製造装置及び保持装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
立石 篤司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-060441
公開番号(公開出願番号):特開2007-242098
出願日: 2006年03月07日
公開日(公表日): 2007年09月20日
要約:
【課題】簡易な機構を用いて形状安定性を損なうことなく可撓性を有するシート部材を剥離する。【解決手段】シート部材30にスタンパ16を圧接したとき、にシート部材30とスタンパ16との間に空気だまりが形成されるように、予めスタンパ16の圧接面に凹部を形成しておく。そして、シート部材30を剥離する際には、凹部と反対側に形成された閉空間内から気体を排気して凹部にたまった空気を膨張させ、シート部材30に剥離力を作用させる。これにより、シート部材30に放射状の剥離力が均一に作用することとなり、シート部材30の剥離時に生じる部材の歪みを効果的に回避することが可能となる。【選択図】図3
請求項(抜粋):
基材の接合面に一側の面が接合されたシート部材を剥離するシート剥離方法であって、
前記接合面に凹部を形成する第1工程と;
前記接合面に接合されたシート部材の他側の面の、少なくとも前記凹部に対応する領域を吸引する第2工程と;を含むシート剥離方法。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (5件):
5D121AA01
, 5D121DD13
, 5D121DD17
, 5D121EE26
, 5D121EE29
引用特許:
出願人引用 (2件)
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米国特許出願公開第20020186636号明細書
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転写方法及び装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-067206
出願人:芝浦メカトロニクス株式会社
審査官引用 (2件)
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