高温フィルタ

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-384022
公開番号（公開出願番号）：特開2001-257202
出願日： 2000年12月18日
公開日（公表日）： 2001年09月21日
要約：

【要約】【課題】高温フィルタを提供する。【解決手段】本発明は概して、気化を必要とする物質、特に揮発性の低い前駆体、を堆積するための堆積チャンバを提供するが、この物質は、一つ以上の気化要素を通して気相に変換する気化器へ、液体として輸送されるものであり、チャンバ部品上への不必要な凝縮を防止するため、高温で輸送される必要がある。1つの側面において、本チャンバは、一連の加熱された温度制御内部ライナを、気化面として有し、このライナは、取り外し、クリーニング及び交換を高速で行えるように構成され、好ましくは、堆積物質の熱膨張率に近い熱膨張率を有する物質でできている。この気化面は、気化面の表面にスプレーされた液体前駆体を「フラッシュ」し、次いで、更にシステムに流入される前に、このフラッシュされた前駆体を浄化する。

請求項（抜粋）：

処理チャンバのためのガスフィードスルーであって、a)入口と出口を有し、チャンバのシールを形成するための表面を画する導管と、b)導管内に配置されるフィルタであって、前記フィルタは、前記フィルタの前後で過剰な圧力差の形成を防止するに十分な間げき寸法及び表面積を有する、前記フィルタとを備えるガスフィードスルー。

IPC (5件)：

H01L 21/31 , B01D 39/20 , B01D 53/22 , B01D 61/02 500 , C23C 16/448

FI (5件)：

H01L 21/31 B , B01D 39/20 Z , B01D 53/22 , B01D 61/02 500 , C23C 16/448

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