特許

J-GLOBAL ID：200903057470920545

パルス管冷凍機付コールドトラツプ

発明者： 谷 口 裕 哉
出願人/特許権者： アイシン精機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-041538
公開番号（公開出願番号）：特開平5-237304
出願日： 1992年02月27日
公開日（公表日）： 1993年09月17日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、高真空発生装置と処理室との間に配設されるコールドトラツプにおいて、コールドトラツプから可動部を除去することを目的とする。【構成】 コールドトラツプの分子流路上に配設されたバツフル状板に、冷凍出力部に可動部を持たないパルス管冷凍機のコールドエンドを熱的に結合させた。この結果、そのメンテナンス間隔も非常に長くでき、無振動であるため真空系への悪影響が懸念されない。

請求項（抜粋）：

高真空発生装置と処理室との間に配設されるコールドトラツプにおいて、前記コールドトラツプの分子流路上にバツフル状板を配設し、該バツフル状板をパルス管冷凍機のコールドエンドに熱的に結合させたことを特徴とするパルス管冷凍機付コールドトラツプ。