特許

J-GLOBAL ID：200903057473426878

金属微粒子の製造方法および製造装置

発明者： 田中 努 ,  中村 孝則
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 筒井 秀隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-358449
公開番号（公開出願番号）：特開2001-181710
出願日： 1999年12月17日
公開日（公表日）： 2001年07月03日
要約：

【要約】【課題】簡単なチャンバ構造で、金属微粒子を効率よく回収できる金属微粒子の製造方法を提供する。【解決手段】電極3と冷却ハース2上に載置された溶融金属1との間でアーク放電させ、これに生成ガスを吹きつけて金属微粒子を発生させ、この金属微粒子を回収装置6によって回収する。発生するアークの炎尾の周囲に、ガス吹き出し口9から生成ガスと同質のガスまたは不活性ガスを吹きつけて金属微粒子の吹き出し方向を回収装置6方向へ制御する。

請求項（抜粋）：

生成ガス雰囲気中で、電極と冷却ハース上に載置された溶融金属との間でアーク放電させて金属微粒子を発生させ、この金属微粒子を回収装置によって回収する金属微粒子の製造方法において、発生するアークの炎尾の周囲に生成ガスと同質のガスまたは不活性ガスを吹きつけて金属微粒子の吹き出し方向を回収装置方向へ制御することを特徴とする金属微粒子の製造方法。

Fターム (8件)：

4K017AA02 ,  4K017BB02 ,  4K017BB05 ,  4K017BB06 ,  4K017CA07 ,  4K017EF02 ,  4K017EG01 ,  4K017FA23