特許

J-GLOBAL ID：200903057476092822

気中不純物測定装置

発明者： 玉置 真希子
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 竹村 壽
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-134816
公開番号（公開出願番号）：特開平8-304363
出願日： 1995年05月08日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：

【要約】【目的】 捕集・測定が連続的に行うことができる気中イオン不純物の自動捕集が可能な測定装置を提供する。【構成】 気中不純物測定装置は、気中不純物を捕集する捕集手段と、前記捕集手段により捕集された気中不純物を測定する測定手段とを備え、前記捕集手段としてイオン交換繊維フィルタ5を用い、このイオン交換繊維フィルタに捕集された前記気中不純物を溶出してその量を検出する。前記イオン交換繊維フィルタから溶出された前記気中不純物は、イオンクロマトグラフからなる測定手段により検出する。前記気中不純物は、溶離液によって前記イオン交換繊維フィルタから溶出される。

請求項（抜粋）：

気中不純物を捕集する捕集手段と、前記捕集手段により捕集された気中不純物を測定する測定手段とを備え、前記捕集手段としてイオン交換繊維フィルタを用い、このイオン交換繊維フィルタに捕集された前記気中不純物を溶出してその量を検出することを特徴とする気中不純物測定装置。

IPC (4件)：

G01N 30/00 ,  G01N 30/02 ,  G01N 30/88 ,  H01L 21/02

FI (4件)：

G01N 30/00 B ,  G01N 30/02 E ,  G01N 30/88 H ,  H01L 21/02 D