特許
J-GLOBAL ID：200903057485709573
ファブリー・ペローエタロン型波長選択フィルタの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
瀧野 秀雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-043921
公開番号（公開出願番号）：特開平6-258611
出願日： 1993年03月04日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：
【要約】【目的】 エタロン空洞を極めて精密な厚みで製造するとともにこの厚みの調整が容易なファブリー・ペローエタロン型波長選択フィルタの製造方法を提供することを目的とする。【構成】 一方の表面に反射面を有するガラス基板上のこの反射面上にポリイミド樹脂をスピンコートし、その乾燥硬化後、このポリイミド樹脂の不要部分を除去して所要のエタロン空洞を含むパターンを形成させ、その後に上記ガラス基板に対向する側のガラス基板の反射面を上記ポリイミド樹脂に圧着することによってエタロン空洞を形成するようにした。
請求項（抜粋）：
一対の光反射面間に形成されたエタロン空洞に光学的に非直線性の材料を充填したファブリー・ペローエタロン型波長選択フィルタの製造方法において、一方の表面に反射面を有するガラス基板上のこの反射面上にポリイミド樹脂をスピンコートし、その乾燥硬化後、このポリイミド樹脂の不要部分を除去して所要のエタロン空洞を含むパターンを形成させ、その後に上記ガラス基板に対向する側のガラス基板の反射面を上記ポリイミド樹脂に圧着することによってエタロン空洞を形成するようにしたことを特徴とするファブリー・ペローエタロン型波長選択フィルタの製造方法。
IPC (3件)：
G02F 1/13 505
, G01J 3/26
, G02B 5/28
