特許
J-GLOBAL ID:200903057499858415
窒化物結晶の製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
長谷川 曉司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-171755
公開番号(公開出願番号):特開2005-008444
出願日: 2003年06月17日
公開日(公表日): 2005年01月13日
要約:
【課題】工業的に適用可能な比較的低圧の条件下で、不純物の少ない高品質の窒化物、特に、窒化ガリウムの結晶を得る方法を提供する。【解決手段】バルブを付属する反応容器内に、原料を充填後、前記バルブを介して、外気に触れることなく窒素含有溶媒を反応容器内に導入し、結晶を得ることを特徴とする窒化物結晶の製造方法。反応容器内への不純物の混入が抑制され、結果として結晶性の高い、高品質な塊状窒化物結晶が簡易でかつ安全に効率よく得られる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
バルブを付属する反応容器内に、原料を充填後、前記バルブを介して、外気に触れることなく窒素含有溶媒を反応容器内に導入し、結晶を得ることを特徴とする窒化物結晶の製造方法。
IPC (4件):
C30B29/38
, B01J3/00
, C01B21/06
, C30B7/10
FI (4件):
C30B29/38 D
, B01J3/00 A
, C01B21/06 A
, C30B7/10
Fターム (9件):
4G077AA02
, 4G077BE15
, 4G077CB03
, 4G077EA02
, 4G077EA03
, 4G077EC01
, 4G077KA01
, 4G077KA03
, 4G077KA09
引用特許:
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