特許

J-GLOBAL ID：200903057519007522

走査型光学顕微鏡

発明者： 山本 満則
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-047410
公開番号（公開出願番号）：特開平9-243920
出願日： 1996年03月05日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：

【要約】【課題】共焦点、非共焦点の2系統の検出光学系を有して光路切換えの必要をなくし、且つそのいずれにおいても試料からの反射光を損失なく検出する。【解決手段】レーザ光源1 の光を試料12に集束して照射する光学系を有する対物光学系2,8,9,11と、対物光学系で集束した光源1 からの光と試料12とを相対的に2次元方向へ移動走査する2次元走査部4 〜7 と、光源1 と2次元走査部との間で試料12からの反射光を分離する第1の偏光ビームスプリッタ3 と、第1の偏光ビームスプリッタ3 と試料12との間に配置された1/2波長板13と、第1の偏光ビームスプリッタ3で分離した光を検出する複数の光検出光学系15,16と、第1の偏光ビームスプリッタ3 と光検出光学系15,16との間に配置された回転可能な1/2波長板13と、1/2波長板13と光検出光学系15,16との間に配置された第2の偏光ビームスプリッタ14とを備える。

請求項（抜粋）：

光源及びこの光源からの光を試料に対して集束して照射する光学系を有する対物光学系と、この対物光学系で集束した光源からの光と上記試料とを相対的に2次元方向へ移動走査する2次元走査手段と、上記光源と上記2次元走査手段との間にあって、上記試料からの反射光を分離する第1の分離光学素子と、この第1の分離光学素子と上記試料との間に配置された第1の偏光面変換光学素子と、上記第1の分離光学素子で分離された光を検出する複数の光検出光学系と、上記第1の分離光学素子と上記複数の光検出光学系との間に配置された回転可能な第2の偏光面変換光学素子と、この第2の偏光面変換光学素子と上記複数の光検出光学系との間に配置された第2の分離光学素子とを具備したことを特徴とする走査型光学顕微鏡。