特許

J-GLOBAL ID：200903057519774272

多層プリント配線板の層間厚さ測定方法とその装置

発明者： 西村 興次 ,  高井 健郎 ,  荒木 徹 ,  菅原 宏 ,  金子 保 ,  安達 喜雄
出願人/特許権者： 日本シイエムケイ株式会社 ,  松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-044945
公開番号（公開出願番号）：特開平7-229706
出願日： 1994年02月17日
公開日（公表日）： 1995年08月29日
要約：

【要約】【目的】 多層板における層間厚さを非破壊にて確認することにより、全数の精度を保証する。【構成】 多層板の第2層L2 及び第3層L3 等の各層の境界面に層間の厚さを測定するための測定用パターン4を設けるとともに、層間厚さ測定装置のコントローラー2に接続されて出力を調整されつつ計測をするセンサー1を多層板の表裏面から各測定用パターンL2 ,L3 等のそれぞれの面に対向して当接させることにより、センサー1にて多層板の表面と各厚さ測定用パターンL2 ,L3 等の面との距離を感知して信号を出力させ、その信号をデジタルメーターリレー3に送信して自動演算することにより多層板の表面から測定用パターンL2 ,L3 等の面までの層間厚さまたはパターンL2 ,L3 等の面相互の層間厚さを非破壊にて測定することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

多層プリント配線板(以下多層板という)の各層の境界面に層間の厚さを測定するための測定用パターンを設けて、その測定用パターンそれぞれの面に対向して多層板の表裏面に、渦電流変位センサーを用いた層間厚さ測定装置のセンサーを当接させ、コントローラーからの出力により測定用パターン面に渦電流を発生させるとともに、センサーにて多層板の表面から測定用パターン面までの距離を感知させて信号を発信させ、その信号をコントローラーにて数値の信号に変換し、その信号をデジタルメーターリレー部にて受信して自動演算することにより多層板の表面から測定用パターン面までの層間厚さまたはパターン面相互間の層間厚さの数値を得ることを特徴とする多層板の層間厚さ測定方法。

IPC (4件)：

G01B 7/06 ,  G01B 7/00 ,  H05K 3/00 ,  H05K 3/46