特許
J-GLOBAL ID：200903057521667190
流体静圧軸受超音波振動主軸
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-070457
公開番号（公開出願番号）：特開2006-247808
出願日： 2005年03月14日
公開日（公表日）： 2006年09月21日
要約：
【課題】従来の主軸では、高回転精度、高速回転が可能で超音波振動を発振することのできるものは市販されていない。これは、超音波振動の効果をマイクロ加工などにおいて有効利用していないからである。【解決手段】超音波振動子を内蔵した主軸筒、モータおよび流体静圧軸受により構成された流体静圧軸受超音波振動主軸を提案した。超音波振動子は、電歪素子とフランジ、これらをボルトにより締結した軸からなっており、超音波振動子で発生する振動を、振動ホーン、チャックを介して工具に伝える超音波振動系を構成している。超音波振動系は、振動の節の位置となるフランジ部で主軸筒に固定され、主軸筒は、流体静圧軸受により保持され、回転可能である。モータおよび電歪素子は、外部より高周波電力をに非接触供給される。超音波振動子、振動ホーンおよびモータの発熱を冷却する目的で、フランジ、モータロータなどに穴が形成されている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
超音波振動を発生させる超音波振動子(6)を内蔵した主軸筒(11)、前記超音波振動子(6)・振動ホーン(7)・主軸筒(11)に回転を与えるモータ(12)および前記主軸筒(11)を保持する流体静圧軸受(13)により構成された流体静圧軸受超音波振動主軸。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (13件)：
3C036AA00
, 3C049AA17
, 3C049BB02
, 3C049CB03
, 3J102AA02
, 3J102BA03
, 3J102BA19
, 3J102CA10
, 3J102EA02
, 3J102EA03
, 3J102EA06
, 3J102EA12
, 3J102GA07
