特許
J-GLOBAL ID：200903057522355710
真空容器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-344892
公開番号（公開出願番号）：特開平7-171372
出願日： 1993年12月20日
公開日（公表日）： 1995年07月11日
要約：
【要約】【目的】 Oリングから離脱した有機物分子が真空容器内に拡散することを防止できる真空容器を提供する。【構成】 容器本体1と、容器本体1の開口部を開閉する蓋2と、容器本体1又は蓋2の一方に形成されたOリング用の溝7内に配置されたOリング3とからなる真空容器1において、Oリング用溝7の真空側に溝8を形成し、溝8の一部を真空源に接続した。
請求項（抜粋）：
容器本体と、該容器本体の開口部を開閉する蓋と、前記容器本体又は蓋の一方に形成されたOリング用の溝内に配置されたOリングとからなる真空容器において、前記Oリング用溝の真空側に溝を形成し、該溝の一部を真空源に接続したことを特徴とする真空容器。
IPC (2件)：
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