特許

J-GLOBAL ID：200903057537943596

単結晶の製造方法

発明者： 中村 幸弘 ,  金子 克志 ,  恒成 敬二 ,  高橋 義則
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 青木 朗 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-079967
公開番号（公開出願番号）：特開平5-279166
出願日： 1992年04月01日
公開日（公表日）： 1993年10月26日
要約：

【要約】【目的】 小規模で安価な融解るつぼを用いて、低電力で、不純物が極めて少ない単結晶をも作りうる単結晶の製造方法を提供する。【構成】 誘導加熱装置を備え、下部に流出口を有する低温るつぼ中に単結晶の原料を融解し保持し、この融解物に固体原料を供給して融解物を連続的に又は間欠的に単結晶引上げるつぼ内に流出させ、該引上るつぼから単結晶を引上げて単結晶を製造する。

請求項（抜粋）：

誘導加熱装置を備え、下部に流出口を有する低温るつぼの前記誘導加熱装置に、単結晶の原料となる多結晶材料を融解できる温度以上を確保し、所定量の溶融物をるつぼ内に保持するための電磁力を確保するほぼ一定の電流を供給して、該るつぼ内で前記多結晶材料を融解すると共に、この溶融物を保持しつつ、該るつぼ内に前記多結晶の固体材料を連続的に又は間欠的に供給し、これを融解すると共に、該固体多結晶の供給量に相当する量の溶融物を、流出口から連続的に又は間欠的に引上げるつぼに流出させ、該引上るつぼから単結晶を引上げる、単結晶の製造方法。

IPC (2件)：

C30B 15/02 ,  H01L 21/208

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-133110
  
• 特開昭63-240331
  
• 特開平4-220971