特許
J-GLOBAL ID：200903057545481666
渦電流試験方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山崎 行造 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-179844
公開番号（公開出願番号）：特開平7-098299
出願日： 1994年06月27日
公開日（公表日）： 1995年04月11日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 プローブとサンプルの間の分離の測定や知識なしに渦電流プローブを用いてサンプルのコンダクタンスを測定する方法および装置を提供する。【構成】 相互に近接配置した感知コイル26、励振コイル24、励振コイル駆動用AC電源8、感知コイル24の検出電圧の位相成分測定メータ10とからプローブを構成する。次に既知のコンダクタンスを持つ多数のサンプルについて測定を行って、感知コイル24の検出電圧について同位相と直角位相の成分電圧をサンプルからのプローブ分離(プローブヘッドとサンプル表面との距離に対応する値)をいろいろに変えて求めた大量のデータに基づいて表した多数の較正曲線の中から、未知のサンプルについてプローブ分離をいろいろに変えて測定した感知コイル24の検出電圧の変化に丁度適応する較正曲線を選択して、これから未知のコンダクタンスを求める。
請求項（抜粋）：
励振コイルおよび感知コイルを含む渦電流プローブを使用するサンプルのコンダクタンスを測定する方法であって、(a) サンプルからの第1分離での該渦電流プローブおよび該励振コイル内のAC電圧により、該感知コイル内の誘起AC電圧の同位相および直角位相成分を含む誘起電圧対を測定する段階と、(b) 段階(a)をN回反復し、この場合Nは正の整数であり、前記各反復の間にサンプルから異なる分離で渦電流プローブを使用するN回反復を行う段階と、(c) 段階(a)と(b)で得られた誘起電圧対を処理して、リフト・オフ曲線を発生させ、選択された曲線を用いてリフト・オフ曲線の交差を表す交差電圧対を求め、また選択された曲線に沿う場所での関連のコンダクタンスに関するコンダクタンス関数からサンプルのコンダクタンスを求める段階とを含む、ことを特徴とする方法。
IPC (3件)：
G01N 27/72
, G01R 27/02
, H01L 21/66
