特許

J-GLOBAL ID：200903057550795059

タッチ信号プローブ

発明者： 西村 国俊 ,  寺口 幹也 ,  日高 和彦
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 木下 實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-323854
公開番号（公開出願番号）：特開平7-181004
出願日： 1993年12月22日
公開日（公表日）： 1995年07月18日
要約：

【要約】【目的】 接触部が被測定物に接触して振幅が減衰した後で振動の立ち上がりを短くして応答性を高めるタッチ信号プローブを提供する。【構成】 検出手段16Bから取り出される電気的信号を加振手段16Aに増幅してフィードバックするフィードバックループ44を、接触部を有する振動子14をその固有振動数で自励振動させる第1フィードバックループ42Aと、この第1フィードバックループ42Aのフィードバックゲインより大きなフィードバックゲインの第2フィードバックループ42Bとを備えて構成し、検出手段16Bから取り出される信号を基に接触部の被測定物に対する接触が検出された時、あるいはそれ以後に第1フィードバックループ42Aから第2フィードバックループ42Bに所定時間切り替えて、フィードバックゲインを一時的に高める。

請求項（抜粋）：

一端に被測定物と接触する接触部を有する振動子と、この振動子を往復振動させる加振手段と、振動子の往復振動を電気的信号として取り出す検出手段と、この検出手段から取り出される信号を加振手段に増幅してフィードバックするフィードバックループとを含んで構成され、このフィードバックループは、前記振動子をその固有振動数で自励振動させる第1フィードバックループと、この第1フィードバックループのフィードバックゲインより大きなフィードバックゲインの第2フィードバックループとを有し、前記検出手段から取り出される信号を基に前記接触部の被測定物に対する接触が検出されたことを条件として第1フィードバックループから第2フィードバックループに所定時間切り替えることを特徴とするタッチ信号プローブ。