特許
J-GLOBAL ID：200903057557142247
光学スケールを用いた寸法測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-274370
公開番号（公開出願番号）：特開2003-083772
出願日： 2001年09月11日
公開日（公表日）： 2003年03月19日
要約：
【要約】【課題】 光学スケールを用いた寸法測定装置において、光学系の構造と調整を簡素化すること。【解決手段】 1個の移動格子と2個の固定格子から成る光学スケーから位相がπ/2シフトした2相信号を作成する構成において、移動格子、あるいは固定格子を液晶素子で作成し、液晶駆動電圧を変化させることで格子の光強度分布を反転させる。触針が移動中は位相がπ/2シフトした基準2相信号を出力し、カウンター動作を行って格子1ピッチ長の整数倍の移動距離を検出する。触針が停止中は基準2相信号と共に、基準2相信号とは位相が反転した参照2相信号を出力し、4相信号の相互の強度の関係から信号の位相を検出して格子1ピッチ長以下の移動距離を検出する。
請求項（抜粋）：
触針と共に移動する移動格子と一定位置に固定された2個の固定格子からなる光学スケールと、該光学スケールを照明する光源と、2個の受光器から構成される光学系と、前記受光器から出力される信号を信号処理して前記触針の移動距離から寸法を測定する信号処理系とを備えた光学スケールを用いた寸法測定装置において、前記移動格子または前記固定格子を構成する格子を光強度分布が可変できる素子から構成し、前記格子が基準強度分布のときに互いの位相がπ/2異なる基準2相信号を発し、前記基準強度分布が反転した光強度分布のときは前記基準2相信号の位相が反転した参照2相信号を発する構成とし、前記触針が停止しているときは前記基準2相信号と参照2相信号を出力し、前記触針が移動中は前記基準2相信号だけを出力し、前記基準2相信号と参照2相信号を信号処理して寸法を測定することを特徴とする光学スケールを用いた寸法測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/00 C
, G01D 5/34 D
2F065AA02
, 2F065FF16
, 2F065GG12
, 2F065HH03
, 2F065HH13
, 2F065LL04
, 2F065LL35
, 2F065MM03
, 2F103BA31
, 2F103DA02
, 2F103EA02
, 2F103EA15
, 2F103EA17
, 2F103EA19
, 2F103EB01
, 2F103EB33
, 2F103ED21
, 2F103FA01
, 2F103FA11
