特許
J-GLOBAL ID：200903057559054434
電子源
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中沢 謹之助 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-084438
公開番号（公開出願番号）：特開平9-236700
出願日： 1996年03月02日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：
【要約】【課題】簡単な構成で電子線照射幅の全域に渡って分布密度が均一な電子線を発生させることができ、また、フィラメントを長寿命化することのできる電子源を提供すること。【解決手段】電子線の照射幅(y方向)に渡って配置され、熱電子を発生するフィラメント2a〜2iと、前記フィラメントに沿って配置され、前記フィラメントで発生された熱電子の放出を制御するグリッド電極とを有する電子源において、前記グリッド電極を電子線の照射幅方向に複数に分割する22a〜22gするとともに、分割された各グリッド電極22a〜22gのそれぞれに、フィラメント2a〜2iの両端の電圧降下分に対応して分圧抵抗23a〜23fで分圧した電圧を印加し、各グリッド電極22a〜22gとこれらと対向するフィラメント2a〜2iとの電位差をほぼ等しくする。
請求項（抜粋）：
電子線の照射幅に渡って配置され、熱電子を発生するフィラメントと、前記フィラメントに沿って配置され、前記フィラメントで発生された熱電子の放出を制御するグリッド電極とを有する電子源において、前記グリッド電極を電子線の照射幅方向に複数に分割するとともに、分割された各グリッド電極と各グリッド電極と対向する前記フィラメントとの電位差をほぼ等しくする電圧を前記分割されたそれぞれのグリッド電極に印加してなることを特徴とする電子源。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G21K 5/04 F
, H01J 37/06 Z
