特許

J-GLOBAL ID：200903057559378914

半導体装置およびその製造方法

発明者： 渡辺 泰正
出願人/特許権者： 富士電機デバイステクノロジー株式会社
代理人 (1件)： 松本 洋一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-055215
公開番号（公開出願番号）：特開2009-267371
出願日： 2009年03月09日
公開日（公表日）： 2009年11月12日
要約：

【目的】ジャンクションブロックを不要とし、またワイヤーハーネスの占有スペースを縮小化し、過電流となった主電流を確実に遮断できて、電気経路を確実に開放できるヒューズ素子を半導体基板内に形成した半導体装置およびその製造方法を提供する。【解決手段】p半導体基板1に形成したトレンチ18の内壁にシリコン酸化膜21を介してヒューズ素子22を形成し、トレンチ18の開口部を塞ぐようにポリイミド膜23を被覆することで、溶断したヒューズ素子22が再度固化したときに、固化したヒューズ材で第1表面端子aと第2表面端子bの間を短絡しないようにする。半導体装置内にヒューズ素子22を有することで、ジャンクションブロックを不要とし、またワイヤーハーネスの占有スペースを縮小化できる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

半導体基板の表面から内部に向かって配置されるトレンチと、該トレンチの内壁に配置される第1絶縁膜と、該第1絶縁膜上に選択的に配置される導電層からなるヒューズ素子と、該ヒューズ素子の一端と電気的に接続するスイッチング素子の主電極と、前記半導体基板の表面に前記トレンチの開口部を塞ぐように配置される第2絶縁膜と、を具備することを特徴とする半導体装置。

IPC (15件)：

H01L 21/82 ,  H01L 21/823 ,  H01L 27/06 ,  H01L 21/822 ,  H01L 27/04 ,  H01L 29/78 ,  H01H 85/08 ,  H01H 85/175 ,  H01H 85/20 ,  H01H 85/38 ,  H01H 85/48 ,  H01H 69/02 ,  H01L 27/088 ,  H01L 27/10 ,  H01L 29/786

FI (16件)：

H01L21/82 F ,  H01L27/06 102A ,  H01L27/04 H ,  H01L29/78 301K ,  H01L29/78 657Z ,  H01L29/78 652Z ,  H01H85/08 ,  H01H85/175 ,  H01H85/20 A ,  H01H85/38 ,  H01H85/48 ,  H01H69/02 ,  H01L27/08 102E ,  H01L27/10 431 ,  H01L29/78 612A ,  H01L29/78 613Z

Fターム (81件)：

5F038BH01 ,  5F038BH11 ,  5F038BH15 ,  5F038BH16 ,  5F038CA02 ,  5F038CA12 ,  5F038EZ06 ,  5F038EZ14 ,  5F038EZ15 ,  5F038EZ16 ,  5F038EZ17 ,  5F038EZ20 ,  5F048AA07 ,  5F048AB10 ,  5F048AC03 ,  5F048AC06 ,  5F048AC10 ,  5F048BA01 ,  5F048BA16 ,  5F048BC03 ,  5F048BC12 ,  5F048BD07 ,  5F048BF07 ,  5F048BF16 ,  5F048BG12 ,  5F048BG13 ,  5F048CB07 ,  5F064CC09 ,  5F064DD10 ,  5F064DD14 ,  5F064FF27 ,  5F064FF30 ,  5F064FF33 ,  5F064FF34 ,  5F064FF45 ,  5F064GG03 ,  5F064GG07 ,  5F083CR12 ,  5F083GA27 ,  5F083JA31 ,  5F083JA32 ,  5F083JA37 ,  5F083JA38 ,  5F083JA39 ,  5F083JA58 ,  5F110AA30 ,  5F110BB12 ,  5F110CC02 ,  5F110DD05 ,  5F110DD13 ,  5F110GG02 ,  5F110NN02 ,  5F110NN03 ,  5F110NN04 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN27 ,  5F110NN62 ,  5F110NN71 ,  5F140AA33 ,  5F140AB00 ,  5F140AB01 ,  5F140BA01 ,  5F140CC10 ,  5F140DA08 ,  5G502AA01 ,  5G502AA09 ,  5G502BA08 ,  5G502BB01 ,  5G502BB08 ,  5G502BB14 ,  5G502BC07 ,  5G502BD03 ,  5G502BD13 ,  5G502CC12 ,  5G502CC13 ,  5G502CC20 ,  5G502CC28 ,  5G502EE04 ,  5G502FF10 ,  5G502JJ01