特許

J-GLOBAL ID：200903057574477651

走査プローブ顕微鏡

発明者： 山口 博 ,  松永 秀樹 ,  吉木 昌彦 ,  鈴木 健 ,  富田 充裕 ,  高桑 智恵 ,  高橋 護
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-059729
公開番号（公開出願番号）：特開平9-251026
出願日： 1996年03月15日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 原子間力と摩擦力とを分離して効率よく検出し、材料表面の形状や組成や構造の相違を解析評価でき、原子・分子レベルでの加工・記録においても精密な位置検出ができるようなプローブを有する装置を提供する。【解決手段】 支持台7と、たわむように前記支持台に両端を取り付けたレバー3,4と、このレバーの支持台と反対の面に取り付けられた探針2と、前記探針を挟んで前記レバーの表面に形成され、前記レバーのたわみを検出するための一対の歪ゲージa,b,c,dとを有し、また、前記歪ゲージをそれぞれレバーの表裏両面に設け、個々にブリッジ回路を形成し、各ブリッジ回路の出力電圧から摩擦力の大きさを求める。さらに、探針に付着したゴミを除去するように、走査プローブ顕微鏡の前記プローブに100KHz〜100MHzの範囲内の周波数を有する振動電圧を印加する手段を設ける。

請求項（抜粋）：

支持台と、たわむように前記支持台に両端を取り付けたレバーと、このレバーの支持台と反対の面に取り付けられた探針と、前記探針を挟んで前記レバーの表面に形成され、前記レバーのたわみを検出するための一対の歪ゲージとを有することを特徴とする走査プローブ顕微鏡。

IPC (3件)：

G01N 37/00 ,  G01B 5/00 ,  G01B 11/30

FI (3件)：

G01N 37/00 A ,  G01B 5/00 L ,  G01B 11/30 Z