特許
J-GLOBAL ID:200903057579203649
酸化錫ガスセンサーおよび製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
曾我 道照 (外6名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-213039
公開番号(公開出願番号):特開平11-094786
出願日: 1992年04月03日
公開日(公表日): 1999年04月09日
要約:
【要約】【課題】 低い酸素分圧での酸素感度の問題が生じることのない酸化錫ガスセンサーおよびその製造方法を提供すること。【解決手段】 酸化錫を空気中において1400°C以上の温度で焼成し、酸化錫の物理的状態を変化させる段階を包含する、測定温度において測定されるべき少なくとも1種のガスの濃度により増加する抵抗を有する酸化錫ガスセンサーの製造方法と、この方法により得られる酸化錫ガスセンサー。
請求項(抜粋):
酸化錫を空気中において1400°C以上の温度で焼成し、酸化錫の物理的状態を変化させる段階を包含する、測定温度において測定されるべき少なくとも1種のガスの濃度により増加する抵抗を有する酸化錫ガスセンサーの製造方法。
FI (2件):
G01N 27/12 M
, G01N 27/12 B
引用特許:
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (12件)
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特開昭54-103397
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特開昭54-103397
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特開昭62-024135
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特開昭62-024135
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特公昭60-046479
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特公昭60-046479
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特開昭52-054498
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特開昭52-054498
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特開昭54-103397
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特開昭62-024135
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特公昭60-046479
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特開昭52-054498
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