回路シミュレーション方法および回路シミュレーション装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (13件)：前田弘 , 小山廣毅 , 竹内宏 , 嶋田高久 , 竹内祐二 , 今江克実 , 藤田篤史 , 二宮克也 , 原田智雄 , 井関勝守 , 米田圭啓 , 関啓 , 杉浦靖也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-169199
公開番号（公開出願番号）：特開2006-343217
出願日： 2005年06月09日
公開日（公表日）： 2006年12月21日
要約：

【課題】設計寸法と実際の仕上がり寸法との誤差を考慮に入れ、回路シミュレーション精度を向上させた回路シミュレーション方法を提供する。【解決手段】半導体集積回路の設計において、回路シミュレーションに用いる回路情報を、TEGに含まれるデバイスの電気特性の測定値から抽出し、測定値とシミュレーション値とを用いてネットリストに含まれるパラメータを修正する。この修正されたネットリストを用いて回路シミュレーションを行うことで、設計寸法と実仕上がり寸法の誤差に起因する回路シミュレーション誤差を低減し、設計マージンの増大、動作不良による歩留まり低下を回避することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ゲートを有するトランジスタの複数のパラメータを含む設計レイアウト情報を用いる回路シミュレーション方法であって、前記設計レイアウト情報から前記複数のパラメータを含むネットリストを抽出するステップ(a)と、前記トランジスタの第1の電気特性および第2の電気特性を測定して実測値を得るステップ(b)と、回路シミュレーションを行って、前記複数のパラメータの関数として表現される前記トランジスタの前記第1の電気特性および前記第2の電気特性のシミュレーション値を得るステップ(c)と、前記第1の電気特性の実測値と前記第1の電気特性のシミュレーション値とが一致する場合の前記複数のパラメータの第1の関係式と、前記第2の電気特性の実測値と前記第2の電気特性のシミュレーション値とが一致する場合の前記複数のパラメータの第2の関係式とを用いて、前記複数のパラメータの修正値を算出するステップ(d)と、前記複数のパラメータの修正値を用いて前記ネットリストを修正するステップ(e)と、前記ステップ(e)で修正された前記ネットリストを用いて回路シミュレーションを行うステップ(f)とを備えていることを特徴とする回路シミュレーション方法。

IPC (3件)：

G01R 31/28 , G06F 17/50 , H01L 21/82

FI (4件)：

G01R31/28 F , G06F17/50 662G , H01L21/82 C , H01L21/82 T

Fターム (14件)：

2G132AB01 , 2G132AC03 , 2G132AC10 , 2G132AC11 , 2G132AD01 , 2G132AD02 , 2G132AD07 , 2G132AK07 , 5B046AA08 , 5B046BA03 , 5B046JA04 , 5F064CC09 , 5F064HH06 , 5F064HH10

引用特許：

出願人引用 (1件)

回路動作検証方法及び回路動作検証装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-402723 出願人：株式会社東芝

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