特許

J-GLOBAL ID：200903057599099120

多重量子障壁構造を有する光素子

発明者： 入川 理徳 ,  岩瀬 正幸 ,  佐々木 義高 ,  柏 享 ,  伊賀 健一
出願人/特許権者： 古河電気工業株式会社 ,  伊賀 健一
代理人 (1件)： 鈴木 雄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-079019
公開番号（公開出願番号）：特開平6-268329
出願日： 1993年03月12日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：

【要約】【目的】 長波帯光素子のキャリアオーバーフローを低減させることができる多重量子障壁構造を有する光素子を提供する。【構成】 一組のクラッド層と、該一組のクラッド層の間にある、GaInAs(P)もしくはAlGaInAs層を含む活性層を有する光素子であって、前記活性層と前記各クラッド層の間もしくは各クラッド層内の少なくとも一か所に多重量子障壁構造が設けられ、該多重量子障壁構造は、井戸層厚さLW と障壁層厚さLB の関係が、所定の関係を満たす第1の超格子構造体と、第1の超格子構造体とは材料、組成、もしくは膜厚の少なくとも一つ以上が異なる第2の超格子構造体を含むようにするか、または、井戸層と障壁層に所定の歪みをもたせ、一種類の超格子構造体だけで構成されるようにする。

請求項（抜粋）：

一組のクラッド層と、該一組のクラッド層の間にあってGaInAs(P)もしくはAlGaInAs層を含む活性層を有し、前記活性層と前記各クラッド層の間もしくは各クラッド層内の少なくとも一か所に多重量子障壁構造が設けられた多重量子障壁構造を有する光素子において、該多重量子障壁構造は、井戸層が無歪みであるか、もしくは2%以下の面内圧縮歪みを有し、障壁層が無歪みであるか、もしくは2%以下の面内引張り歪みを有し、該井戸層と障壁層の材料、組成、膜厚の少なくとも一つ以上が異なる複数の超格子構造体を含み、該複数の超格子構造体の第1の超格子構造体は、その井戸層厚さLW と障壁層厚さLB が、層厚の単位を1原子層(ML)として、LB ≧-2LW +22 (ただし、LW 、LB ≧4)を満たす範囲にあり、第2の超格子構造体は、LB ≦-LW +14 (-4≦LW ≦6のとき) またはLB ≦-2LW +20 (6≦LW ≦8のとき)を満たす範囲にあることを特徴とする多重量子障壁構造を有する光素子。