特許
J-GLOBAL ID：200903057600042731
セラミックス材料,摺動構造体、及び薄葉材料
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-046640
公開番号（公開出願番号）：特開平5-246781
出願日： 1992年03月04日
公開日（公表日）： 1993年09月24日
要約：
【要約】【目的】セラミックス材の本来の特性を損なうことなく、長期間にわたり耐水性,耐油性,耐環境性(各種ガス成分に対する耐久性)、高摺動耐久性を保持できるセラミックス材及び該セラミックス材を用いた摺動構造体,薄葉材料を提供すること。【構成】セラミックス基材の表面に膜厚が5〜100nmのフッ素系被膜を化学結合により固定形成してなることを特徴とするセラミックス材料、及び該セラミックス材料を用いた摺動構造体,薄葉材料。【効果】本発明のセラミックス材料は耐水性,耐油性,耐汚染性を長期間,高温高湿,油中,各種ガス成分雰囲気中に放置しても保持でき、適用品の高性能化,高信頼度化に有効である。
請求項（抜粋）：
セラミックス基材の表面に膜厚が5〜1000nmのフッ素系被膜を化学結合により固定形成してなることを特徴とするセラミックス材料。
IPC (5件)：
C04B 41/83
, C09D183/08 PMV
, F16C 33/24
, H01L 23/29
, H01L 23/31
