特許
J-GLOBAL ID:200903057602817510

X線を使った厚み計測方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 柳田 良徳 (外8名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-062863
公開番号(公開出願番号):特開平9-257446
出願日: 1996年03月19日
公開日(公表日): 1997年10月03日
要約:
【要約】【課題】 厚み計測を簡単に且つ高精度で行い、さらに視覚的な情報も得る。【解決手段】 X線を使った厚み計測方法として、被計測物体4と共に複数点の厚みが既知の標準物体3を同一面上に配置してフイルム2によりX線照射装置1からのX線の透過濃度を計測し、標準物体3の各既知の厚みの透過濃度から透過濃度と厚みとの関数を求め、該関数を使って被計測物体4の各透過濃度から対応する厚みを計測する。そのための装置としては、X線発生手段と、X線計測手段と、該X線計測手段により計測したX線の透過濃度を使い標準物体の各既知の厚みの透過濃度から透過濃度と厚みとの関数を求め、該関数を使って被計測物体の各透過濃度から対応する厚みを計測する計測演算手段とを備える。
請求項(抜粋):
被計測物体と共に複数点の厚みが既知の標準物体を同一面上に配置してX線の透過濃度を計測し、前記標準物体の各既知の厚みの透過濃度から透過濃度と厚みとの関数を求め、該関数を使って前記被計測物体の各透過濃度から対応する厚みを計測することを特徴とするX線を使った厚み計測方法。
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 特開昭62-277542
  • 特開昭55-154445
  • 特開昭53-124468
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