特許

J-GLOBAL ID：200903057605714304

ガラスセラミック基板

発明者： 工藤 康人
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
代理人 (1件)： 鴨田 朝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-018378
公開番号（公開出願番号）：特開平8-188446
出願日： 1995年01月11日
公開日（公表日）： 1996年07月23日
要約：

【要約】【目的】 (1)低誘電率であること、(2)熱膨張率をシリコンに適合できることおよび(3)機械的強度が大きいことのいずれをも満足するガラスセラミック基板を提供する。【構成】 ガラス粉末とアルミナ粉末とからなるガラスセラミック基板において、該ガラス粉末の組成が重量%基準表示で、SiO2 18〜32ZnO 23〜35B2O3 10〜18Al2O3 16〜24MgO 5〜15CuO 0〜 1であり、該ガラス粉末の組織が主結晶相としてガーナイト(ZnAl2O4)および/あるいはスピネル(MgAl2O4)を析出した結晶化ガラスであって、該ガラス粉末と該アルミナ粉末の配合比率は、該ガラス粉末が45〜65重量%であり、残部がアルミナ粉末であることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ガラス粉末とアルミナ粉末とからなるガラスセラミック基板において、該ガラス粉末の組成が重量%基準表示で、SiO2 18〜32ZnO 23〜35B2O3 10〜18Al2O3 16〜24MgO 5〜15であり、該ガラス粉末の組織が主結晶相としてガーナイト(ZnAl2O4)および/あるいはスピネル(MgAl2O4)を析出した結晶化ガラスであって、該ガラス粉末と該アルミナ粉末の配合比率は、該ガラス粉末が45〜65重量%であり、残部がアルミナ粉末であることを特徴とするガラスセラミック基板。

IPC (3件)：

C03C 10/02 ,  C03C 3/062 ,  H01L 23/14