特許
J-GLOBAL ID：200903057612837802
液体検出装置およびそれを用いた半導体製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-268287
公開番号（公開出願番号）：特開平6-120193
出願日： 1992年10月07日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：
【要約】【目的】 検出誤差がなく、液体が汚染されることのない液体検出装置を提供する。【構成】 液体5が収容される液槽1の外壁面に、略V字状の柱状体の導光部材2を、その屈折箇所を面接触して取り付け、この導光部材2の入射部2a端面には光ファイバ(光源)3を、反射部2bの端面には光センサ4を接続する。この導光部材2は液槽1と同一の材質とされ、入射部2a端面および液槽1の外壁面との接触面は鏡面仕上げとされている。また、導光部材2の入射部2aと反射部2bとで構成される中心角θは、導光部材2と液槽1との接触部位に液体5がない場合にのみ、光ファイバ(光源)3からの光6が液槽1の内壁面で全反射して光センサ4に受光されるような角度とする。
請求項（抜粋）：
液体が収容される液槽の外壁面に、屈折箇所を面接触して取り付けられた、入射部と反射部とからなる略V字形状の柱状体の導光部材と、該導光部材の入射部端面に接続された光源と、反射部端面に接続された光センサとからなり、前記導光部材は前記液槽と同一の材質よりなり、前記導光部材の入射部と反射部とで構成される中心角は、前記導光部材と前記液槽との接触部位に前記液体がない場合には、前記光源からの光が前記液槽の内壁面で全反射して前記光センサに受光され、前記導光部材と前記液槽との接触部位に前記液体がある場合には、前記光源からの光が前記液槽と前記液体との境界面で屈折して、前記液体内を直進するような角度とされていることを特徴とする液体検出装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304 341
, G01F 23/28
, G01J 1/02
