特許
J-GLOBAL ID：200903057625091915
外観検査装置および外観検査方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 喜平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-260681
公開番号（公開出願番号）：特開平11-101619
出願日： 1997年09月25日
公開日（公表日）： 1999年04月13日
要約：
【要約】【課題】 高速分解能で外観検査を行うこと,長期にわたって品質を保証することおよび良好な検出感度を得ることを可能とする。【解決手段】 検査対象Sを照明するためのレーザーユニット2aを有しこのレーザーユニット2aからのレーザー光aを一次元的に拡散する照明器ユニット2と、この照明器ユニット2によって照明される検査対象Sを二次元像として拡大する顕微鏡3と、この顕微鏡3による二次元像の拡散照射面に対応する一次元像を検出するセンサー6とを備えた構成としてある。
請求項（抜粋）：
検査対象を照明するためのビーム光源を有し、このビーム光源からのビーム光を一次元的に拡散する照明器ユニットと、この照明器ユニットによって照明される検査対象を二次元像として拡大する顕微鏡と、この顕微鏡による二次元像の拡散照射面に対応する一次元像を検出するセンサーとを備えたことを特徴とする外観検査装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01B 11/24 K
, G01B 11/24 F
, G06F 15/62 380
