特許
J-GLOBAL ID：200903057628707356
石英ガラス質ルツボ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
赤野 牧子 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-081904
公開番号（公開出願番号）：特開平8-253333
出願日： 1995年03月13日
公開日（公表日）： 1996年10月01日
要約：
【要約】【目的】 チョクラルスキー法(CZ法)シリコン単結晶成長を効果的に行うことができ、その製造が簡便であり、シリコン単結晶成長の各種不都合を防止し高無転位率の単結晶成長できる石英ガラス質ルツボの提供。【構成】 少なくとも気泡径100μm以下の気泡の累積率が95%以上であり、且つ、気泡径のピークが50μm以下の気泡分布を有する気泡含有石英ガラス質を有してり構成されることを特徴とする石英ガラス質ルツボ。前記気泡含有石英ガラス質が、1cm3 当たり80,000〜120,000個の気泡を有することが好ましい。
請求項（抜粋）：
少なくとも気泡径100μm以下の気泡の累積率が95%以上であり、且つ、気泡径のピークが50μm以下の気泡分布を有する気泡含有石英ガラス質を有して構成されることを特徴とする石英ガラス質ルツボ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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