特許
J-GLOBAL ID：200903057632108963
ガラス基板異物検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西山 春之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-105074
公開番号（公開出願番号）：特開平5-180778
出願日： 1991年04月11日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：
【要約】【目的】 ガラス基板の表面の異物の有無等を検査する異物検査装置において、ガラス基板の表面に照射するビーム光の走査による指向性にかかわらず総ての異物を検出可能とする。【構成】 Zテーブル9の近傍に、該Zテーブル9上に位置決め保持されたガラス基板2をその平面内で90度回転させる基板回転機構15を設ける。これにより、例えば1回目のガラス基板2の表面に対してレーザ光24を走査した後、2回目においては上記ガラス基板2の1回目の走査方向と90度交差する方向にレーザ光24を走査して、ガラス基板2の全方向の異物についてその有無等を検査できる。
請求項（抜粋）：
検査対象としてのガラス基板を位置決めして保持すると共に所定方向へ移動する保持テーブルと、上記ガラス基板の表面に光ビームを照射する投光部と、そのガラス基板からの散乱光を入射する受光部とを有し、上記投光部からの光ビームをガラス基板の表面に走査して照射し、そのガラス基板の表面の異物からの散乱光を受光部で検出することにより異物の検査を行うガラス基板異物検査装置において、上記保持テーブルの近傍に、上記位置決め保持されたガラス基板をその平面内で90度回転させる機構を設けたことを特徴とするガラス基板異物検査装置。
IPC (2件)：
引用特許：
前のページに戻る
