特許
J-GLOBAL ID：200903057635766457

載置装置

発明者：
横山 進二

横山 進二 について

, 
安部 智朗

安部 智朗 について


出願人/特許権者：
平田機工株式会社

平田機工株式会社 について


代理人 (1件)： 大塚 康徳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-338158
公開番号（公開出願番号）：特開2003-142551
出願日： 2001年11月02日
公開日（公表日）： 2003年05月16日
要約：
【要約】【課題】 各種サイズの基板を収納する各種の収納器に対応した載置装置を提供すること。【解決手段】 FOUPオープナー機能を有する載置装置において、FOUPを載置する場合は、載置プレート10に直接載置するが、オープンカセットを載置する場合は、アダプタ20を載置プレート10に装着し、その上に載置する。
請求項（抜粋）：
開閉可能な蓋を備え、基板を収納する密閉型の収納器が載置される載置部と、前記載置部に載置された前記密閉型の収納器の前記蓋を開閉する開閉手段と、基板を収納する開放型の収納器が載置され、前記載置部に着脱自在に設けられたアダプタと、を備えた載置装置。
FI (3件)：
H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 T ,  H01L 21/68 V
Fターム (15件)：
5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031DA08 ,  5F031EA14 ,  5F031EA20 ,  5F031JA05 ,  5F031JA17 ,  5F031JA22 ,  5F031JA51 ,  5F031KA20 ,  5F031LA12 ,  5F031MA15 ,  5F031MA17 ,  5F031NA10 ,  5F031PA16
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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