特許
J-GLOBAL ID：200903057636737590
酸素センサ用ヒータの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-176438
公開番号（公開出願番号）：特開平9-026405
出願日： 1995年07月12日
公開日（公表日）： 1997年01月28日
要約：
【要約】【課題】金属粒子の溶融又は凝集に起因する発熱部の断線を防止できる酸素センサ用ヒータを製造する。【解決手段】?@シート材成形工程でセラミックス粒子を主成分とするシート材を成形し、?Aシート材打ち抜き工程でシート材から上側シート及び下側シートを打ち抜く。?Bペースト調整工程で白金を主成分とするヒータパターン用ペーストを調合し、?Cヒータパターン印刷工程でペーストを下側シート上に印刷・乾燥し、ヒータパターン中間体を形成する。?Dヒータパターン中間体加圧工程(a) で下側シート17上のヒータパターン中間体24を加圧手段25にて加圧し、同中間体24中の白金粒子を緻密化させる。?Eシート積層工程(b) で上側シート18の面18a に水を塗布した後、下側シート17に重ね合わせて加圧し積層する。?F脱脂・焼成工程(c) で積層後のヒータ中間体26を脱脂及び焼成すると、厚みの略均一なヒータパターンを有するヒータが得られる。
請求項（抜粋）：
酸素センサのセンサ素子部を所定温度に維持するためのヒータを製造するための方法であって、金属粒子を含有するペーストを基板上に印刷し、そのペーストを乾燥させた後に加圧手段により所定の圧力で加圧し、脱脂及び焼成して発熱部を形成するようにした酸素センサ用ヒータの製造方法。
FI (2件)：
G01N 27/12 B
, G01N 27/12 M
