位置決め装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-161281
公開番号（公開出願番号）：特開平7-009295
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 1995年01月13日
要約：

【要約】【構成】テーブルを一体的に形成したピストン1をシリンダ2内で保持し、上記ピストン1で隔壁されるシリンダ2内の2つの加圧室3、4にそれぞれ圧力調整弁6、7を備えて成り、上記ピストン1とシリンダ2の隙間5に気体を噴出してピストン1を静圧支持するとともに、この噴出気体を上記2つの加圧室3、4に導入し、両加圧室3、4の圧力差によってピストン1およびテーブルを駆動するようにして位置決め装置を構成する。【効果】シリンダサーボ型の機構を持つため軸方向剛性を高くでき、かつピストン1をシリンダ2内で静圧支持するため動作抵抗や動作反力が極めて小さく、しかも摺動や屈曲部分が無いため計時変化が無く、長寿命で安定な繰返し位置決めが可能となる。また、ピストン1とテーブルを一体的に形成したため小型で簡単な構造とできるなど、多くの特徴を持った位置決め装置を提供することができる。

請求項（抜粋）：

テーブルを一体的に形成したピストンをシリンダ内で保持し、上記ピストンで隔壁されるシリンダ内の2つの加圧室にそれぞれ圧力調整弁を備え、上記ピストンとシリンダの隙間に気体を噴出してピストンを静圧支持するとともに、この噴出気体を上記2つの加圧室に導入し、両加圧室の圧力差によってピストンおよびテーブルを駆動するようにしたことを特徴とする位置決め装置。

IPC (2件)：

B23Q 5/26 , G05D 3/00

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭63-026403
特開昭46-001964

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